产品描述
产品特点:
1.Barcode 扫描调程
2.双loadport或cassette plate.支持Cassettte,FOUP mapping
3.双OCR,支持晶圆正反面Wafer ID读取比对
4.CCD Notch定位
5.适用于Open cassette,Foup或Mounted后frame cassette
6.兼容8&12 inch wafer
7.选择Mounted后frame cassette作业方式,可集成晶圆自动贴标功能。
8.SECS/GEM
9.Wafer Map自动调取比对
10.wafer ID,识别标识,NG die刻印
11.THG laser 无热应力损伤,高发色刻印
12.高精度,高效率
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