产品简介
PRODUCT INTRODUCTION
TRF系列晶圆全自动导片理片机
TRF系列是针对晶圆的全自动导片、理片设备; 可将WAFER从一个Jar box或者 FOUP传递到另外一个或多个Jar box或者 FOUP; 并支持多个料盒之间的互相传导。
产品描述
产品特点:
1.自由选择导片位置 ;
2.wafer ID reading功能 ;
3.可选配宏检查和显微镜检测功能 ;
4.SECS GEM功能。
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