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产品简介

PRODUCT INTRODUCTION


TRF系列晶圆全自动导片理片机

TRF系列是针对晶圆的全自动导片、理片设备; 可将WAFER从一个Jar box或者 FOUP传递到另外一个或多个Jar box或者 FOUP; 并支持多个料盒之间的互相传导。

产品描述

产品特点:

1.自由选择导片位置 ;

2.wafer ID reading功能 ;

3.可选配宏检查和显微镜检测功能 ;

4.SECS GEM功能。


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